[實用新型]一種氮化鋁單晶生長的提拉裝置有效
| 申請號: | 201620685348.3 | 申請日: | 2016-06-30 |
| 公開(公告)號: | CN205821523U | 公開(公告)日: | 2016-12-21 |
| 發明(設計)人: | 程章勇 | 申請(專利權)人: | 北京華進創威電子有限公司 |
| 主分類號: | C30B29/40 | 分類號: | C30B29/40;C30B15/30 |
| 代理公司: | 北京中創陽光知識產權代理有限責任公司11003 | 代理人: | 馬知非;沈耀沖 |
| 地址: | 101111 北京市通*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 氮化 鋁單晶 生長 裝置 | ||
【權利要求書】:
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