[實用新型]一種磁控濺射旋轉磁密封端頭有效
| 申請號： | 201620681853.0 | 申請日： | 2016-07-01 |
| 公開（公告）號： | CN205710899U | 公開（公告）日： | 2016-11-23 |
| 發明（設計）人： | 趙勇 | 申請（專利權）人： | 深圳市昊興科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 深圳眾鼎專利商標代理事務所(普通合伙) 44325 | 代理人： | 朱業剛;譚果林 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市龍*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 磁控濺射 旋轉 密封 端頭 | ||
【說明書】：
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