[實用新型]一種等離子體刻蝕裝置和干法刻蝕設備有效
| 申請號： | 201620672052.8 | 申請日： | 2016-06-28 |
| 公開（公告）號： | CN205692795U | 公開（公告）日： | 2016-11-16 |
| 發明（設計）人： | 宮奎;白明基;段獻學;李賀飛 | 申請（專利權）人： | 合肥京東方光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/32 | 分類號： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291 | 代理人： | 黃志華 |
| 地址： | 230012 安徽*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 等離子體 刻蝕 裝置 設備 | ||
【權利要求書】：
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