[實用新型]一種硅片超聲波清洗槽的送料裝置有效
| 申請號： | 201620670279.9 | 申請日： | 2016-06-30 |
| 公開（公告）號： | CN205949398U | 公開（公告）日： | 2017-02-15 |
| 發明（設計）人： | 支秉旭 | 申請（專利權）人： | 江西大杰新能源技術有限公司 |
| 主分類號： | B08B3/12 | 分類號： | B08B3/12;B08B13/00;B65G49/06 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 335400 *** | 國省代碼： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 硅片 超聲波 清洗 裝置 | ||
【權利要求書】：
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