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[實用新型]一種硅片超聲波清洗槽的清洗液循環過濾裝置有效

專利信息
申請號: 201620670070.2 申請日: 2016-06-30
公開(公告)號: CN205949403U 公開(公告)日: 2017-02-15
發明(設計)人: 支秉旭 申請(專利權)人: 江西大杰新能源技術有限公司
主分類號: B08B3/14 分類號: B08B3/14;B08B3/12
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 335400 *** 國省代碼: 江西;36
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 硅片 超聲波 清洗 循環 過濾 裝置
【說明書】:
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1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

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