[實(shí)用新型]氣浮平臺(tái)、氣浮裝置及玻璃基板傳送裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201620661848.3 | 申請(qǐng)日： | 2016-06-28 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN206188001U | 公開（公告）日： | 2017-05-24 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 丁力;程常寶;蔡杰 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 江蘇東旭億泰智能裝備有限公司;蕪湖東旭光電裝備技術(shù)有限公司;東旭光電科技股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B65G49/06 | 分類號(hào)： | B65G49/06 |
| 代理公司： | 北京英創(chuàng)嘉友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11447 | 代理人： | 陳慶超,桑傳標(biāo) |
| 地址： | 223800 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 平臺(tái) 裝置 玻璃 傳送 | ||
1.一種氣浮平臺(tái)，用于放置玻璃基板，其特征在于，包括沿高度方向由下至上貼合疊放的進(jìn)氣層(10)和出氣層(20)，所述進(jìn)氣層(10)的頂部形成有周向封閉的凹槽，該凹槽的底部形成有沿高度方向貫穿所述進(jìn)氣層(10)的進(jìn)氣孔(11)，以連接進(jìn)氣管接頭(40)，所述出氣層(20)上均勻地布設(shè)有沿高度方向貫穿所述出氣層(20)的出氣孔(21)，所述出氣孔(21)通過所述凹槽與所述進(jìn)氣孔(11)連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣浮平臺(tái)，其特征在于，所述凹槽為多個(gè)，每個(gè)所述凹槽的底部形成有一個(gè)所述進(jìn)氣孔(11)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣浮平臺(tái)，其特征在于，所述出氣孔(21)以矩形陣列的形式設(shè)置在所述出氣層(20)上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的氣浮平臺(tái)，其特征在于，所述凹槽包括多個(gè)長條形的鍵槽(12)，該鍵槽(12)沿所述氣浮平臺(tái)的長度方向延伸，所述凹槽還包括在寬度方向上相鄰的兩個(gè)所述鍵槽(12)之間的連通部(13)，所述進(jìn)氣孔(11)與所述連通部(13)相連通。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣浮平臺(tái)，其特征在于，所述進(jìn)氣層(10)和出氣層(20)的寬度方向的邊部分別均勻地設(shè)有多個(gè)通孔，以通過螺紋件緊固所述進(jìn)氣層(10)和出氣層(20)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣浮平臺(tái)，其特征在于，所述進(jìn)氣層(10)和出氣層(20)之間還設(shè)有分流層(30)，所述分流層(30)的上下兩端分別貼合所述出氣層(20)和進(jìn)氣層(10)，所述分流層(30)上設(shè)有對(duì)應(yīng)于所述出氣孔(21)的分流孔(31)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的氣浮平臺(tái)，其特征在于，所述分流孔(31)的孔徑小于所述出氣孔(21)。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的氣浮平臺(tái)，其特征在于，所述進(jìn)氣層(10)和分流層(30)之間涂有固定膠，所述進(jìn)氣層(10)、分流層(30)和出氣層(20)的寬度方向的邊部分別均勻地設(shè)有多個(gè)通孔，以通過螺紋件緊固所述進(jìn)氣層(10)、分流層(30)和出氣層(20)。
9.一種氣浮裝置，用于放置玻璃基板，其特征在于，包括基座和放置在該基座上的氣浮平臺(tái)，所述氣浮平臺(tái)為根據(jù)權(quán)利要求1-8中任意一項(xiàng)所述的氣浮平臺(tái)，所述氣浮平臺(tái)為矩形陣列的多個(gè)，并且相鄰的所述氣浮平臺(tái)貼合設(shè)置。
10.一種玻璃基板傳送裝置，其特征在于，包括：
氣浮裝置，用于放置所述玻璃基板；
定位裝置，用于在傳送所述玻璃基板前將所述玻璃基板定位在所述氣浮裝置上；以及
移動(dòng)裝置，用于驅(qū)動(dòng)所述玻璃基板沿所述氣浮裝置移動(dòng)，
所述氣浮裝置為權(quán)利要求9所述的氣浮裝置，所述定位裝置包括用于在長度方向上定位所述玻璃基板的第一氣缸(50)，和在寬度方向上定位所述玻璃基板的第二氣缸(60)，所述移動(dòng)裝置包括設(shè)置在所述氣浮裝置寬度方向的一側(cè)的真空吸盤(70)，以從單側(cè)吸附所述玻璃基板運(yùn)動(dòng)。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的玻璃基板傳送裝置，其特征在于，所述第一氣缸(50)為直線氣缸，并且為四個(gè)，分別用于設(shè)置在所述玻璃基板的四角。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的玻璃基板傳送裝置，其特征在于，所述第二氣缸(60)為旋轉(zhuǎn)氣缸，并且為兩個(gè)，分別用于設(shè)置在所述玻璃基板寬度方向上的一側(cè)。
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