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[實用新型]一種濺射靶材自循環冷卻裝置有效

專利信息
申請號: 201620646998.7 申請日: 2016-06-21
公開(公告)號: CN205741198U 公開(公告)日: 2016-11-30
發明(設計)人: 喬憲武 申請(專利權)人: 喬憲武
主分類號: C23C14/34 分類號: C23C14/34
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 310018 浙江省*** 國省代碼: 浙江;33
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 濺射 循環 冷卻 裝置
【說明書】:
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