[實用新型]一種碳化硅單晶爐用監(jiān)控系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201620617666.6 | 申請日： | 2016-06-22 |
| 公開（公告）號： | CN205856657U | 公開（公告）日： | 2017-01-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 申請（專利權(quán)）人： | ||
| 主分類號： | C30B29/36 | 分類號： | C30B29/36;C30B35/00 |
| 代理公司： | 宜興市天宇知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙)32208 | 代理人： | 丁騫 |
| 地址： | 214264 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 碳化硅 單晶爐用 監(jiān)控 系統(tǒng) | ||
【權(quán)利要求書】：
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