[實用新型]陶瓷靜電卡盤裝置有效
| 申請號： | 201620610232.3 | 申請日： | 2016-06-20 |
| 公開（公告）號： | CN205900519U | 公開（公告）日： | 2017-01-18 |
| 發明（設計）人： | 徐登峰;朱煜;楊鵬遠;許巖;成榮;唐娜娜;侯占杰;雷忠興;王建沖;韓瑋琦 | 申請（專利權）人： | 北京華卓精科科技股份有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/687 | 分類號： | H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京恩赫律師事務所11469 | 代理人： | 趙文成 |
| 地址： | 100084 北京市*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 陶瓷 靜電 卡盤 裝置 | ||
【權利要求書】：
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