[實用新型]激光輔助放電EUV光源放電系統有效
| 申請號： | 201620599403.7 | 申請日： | 2016-06-17 |
| 公開（公告）號： | CN205670231U | 公開（公告）日： | 2016-11-02 |
| 發明（設計）人： | 徐強;趙永蓬;王騏 | 申請（專利權）人： | 哈爾濱工業大學 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 哈爾濱市松花江專利商標事務所 23109 | 代理人： | 胡樹發 |
| 地址： | 150001 黑龍*** | 國省代碼： | 黑龍江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 激光 輔助 放電 euv 光源 系統 | ||
【權利要求書】：
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