[實用新型]一種碳化硅的生長裝置有效
| 申請號： | 201620598511.2 | 申請日： | 2016-06-17 |
| 公開（公告）號： | CN205874585U | 公開（公告）日： | 2017-01-11 |
| 發明（設計）人： | 申請（專利權）人： | ||
| 主分類號： | C30B29/36 | 分類號： | C30B29/36;C30B35/00 |
| 代理公司： | 濟南舜源專利事務所有限公司37205 | 代理人： | 苗峻,楊婷 |
| 地址： | 250000 山東*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 碳化硅 生長 裝置 | ||
【權利要求書】：
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