[實用新型]一種沉積類金剛石薄膜裝置有效
| 申請號： | 201620591975.0 | 申請日： | 2016-06-17 |
| 公開（公告）號： | CN205803582U | 公開（公告）日： | 2016-12-14 |
| 發明（設計）人： | 鄒楊;孫蕾;楊宜珍;鄒松東;孫凌 | 申請（專利權）人： | 洛陽奧爾材料科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/32 | 分類號： | C23C14/32;C23C14/06 |
| 代理公司： | 洛陽市凱旋專利事務所41112 | 代理人： | 陸君 |
| 地址： | 471000 河南省洛陽*** | 國省代碼： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 沉積 金剛石 薄膜 裝置 | ||
【說明書】：
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