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[實用新型]一種實時檢測器件真空度的抽真空系統(tǒng)有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201620588905.X 申請日: 2016-06-16
公開(公告)號: CN205744396U 公開(公告)日: 2016-11-30
發(fā)明(設計)人: 李剛;張磊;孫琳;游彥斌;徐敏;殷睿;劉學鈞 申請(專利權)人: 陜西航天機電環(huán)境工程設計院有限責任公司
主分類號: F04B51/00 分類號: F04B51/00
代理公司: 西安智邦專利商標代理有限公司 61211 代理人: 倪金榮
地址: 710100 陜西省西安*** 國省代碼: 陜西;61
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 實時 檢測 器件 真空 系統(tǒng)
【說明書】:
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