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[實用新型]一種多晶硅生產系統質量評價裝置有效

專利信息
申請號: 201620579033.0 申請日: 2016-06-15
公開(公告)號: CN205691573U 公開(公告)日: 2016-11-16
發明(設計)人: 王淑琴;占時友 申請(專利權)人: 上海韻申新能源科技有限公司
主分類號: G01N33/00 分類號: G01N33/00;C01B33/035
代理公司: 上海愉騰專利代理事務所(普通合伙) 31306 代理人: 林弘毅
地址: 200000 上海市松江區漕河涇開發*** 國省代碼: 上海;31
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 多晶 生產 系統 質量 評價 裝置
【說明書】:
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1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

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4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

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