[實(shí)用新型]一種新型硅片清洗裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201620578957.9 | 申請日： | 2016-06-15 |
| 公開（公告）號： | CN205863147U | 公開（公告）日： | 2017-01-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 申請（專利權(quán)）人： | ||
| 主分類號： | H01L21/67 | 分類號： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 廣州三環(huán)專利代理有限公司44202 | 代理人： | 郝傳鑫 |
| 地址： | 215151 江蘇省蘇州*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 新型 硅片 清洗 裝置 | ||
【權(quán)利要求書】：
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