[實(shí)用新型]毛細(xì)管放電Z箍縮極紫外光刻光源光路中雜質(zhì)過(guò)濾裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201620569387.7 | 申請(qǐng)日： | 2016-06-13 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN205673292U | 公開(kāi)（公告）日： | 2016-11-09 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 趙永蓬;徐強(qiáng);王騏 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 哈爾濱工業(yè)大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | B08B5/02 | 分類號(hào)： | B08B5/02 |
| 代理公司： | 哈爾濱市松花江專利商標(biāo)事務(wù)所 23109 | 代理人： | 胡樹(shù)發(fā) |
| 地址： | 150001 黑龍*** | 國(guó)省代碼： | 黑龍江;23 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 毛細(xì)管 放電 箍縮極 紫外 光刻 光源 光路中 雜質(zhì) 過(guò)濾 裝置 | ||
【權(quán)利要求書(shū)】：
下載完整專利技術(shù)內(nèi)容需要扣除積分，VIP會(huì)員可以免費(fèi)下載。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于哈爾濱工業(yè)大學(xué)，未經(jīng)哈爾濱工業(yè)大學(xué)許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購(gòu)買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請(qǐng)聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201620569387.7/1.html，轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來(lái)源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 一種X射線箍縮二極管復(fù)合陰極及其設(shè)計(jì)方法
- 陽(yáng)極箔產(chǎn)生等離子體加強(qiáng)箍縮聚焦的小焦斑X射線二極管
- 毛細(xì)管放電Z箍縮極紫外光光刻光源的收集系統(tǒng)
- 毛細(xì)管放電Z箍縮極紫外光輻射收集系統(tǒng)的真空室
- 等離子體狀態(tài)時(shí)間特性探測(cè)設(shè)備
- 用于安裝電纜的支架
- 一種基于金屬絲微納加工技術(shù)的重頻X箍縮負(fù)載的設(shè)計(jì)方法
- 一種新型采樣管連接結(jié)構(gòu)
- 一種內(nèi)襯油管
- 同心度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、桿箍縮二極管及調(diào)節(jié)方法、應(yīng)用
