[實用新型]一種高精度低g值SOI微加速度計有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201620563072.1 | 申請日： | 2016-06-13 |
| 公開（公告）號： | CN205665264U | 公開（公告）日： | 2016-10-26 |
| 發(fā)明（設計）人： | 張照云;蘇偉;唐彬;高楊;彭勃;陳穎慧;熊壯 | 申請（專利權）人： | 中國工程物理研究院電子工程研究所 |
| 主分類號： | G01P15/125 | 分類號： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 621000*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 高精度 soi 加速度計 | ||
【權利要求書】：
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