[實(shí)用新型]化學(xué)品供應(yīng)裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201620560353.1 | 申請日： | 2016-06-12 |
| 公開（公告）號： | CN205670534U | 公開（公告）日： | 2016-11-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 徐晨鴿;徐暎昊 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海新昇半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/67 | 分類號： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 金華 |
| 地址： | 201306 上海市浦東*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 化學(xué)品 供應(yīng) 裝置 | ||
【權(quán)利要求書】：
下載完整專利技術(shù)內(nèi)容需要扣除積分，VIP會員可以免費(fèi)下載。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于上海新昇半導(dǎo)體科技有限公司，未經(jīng)上海新昇半導(dǎo)體科技有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201620560353.1/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 上一篇：金屬通孔電阻的測試結(jié)構(gòu)
- 下一篇：一種多邊形石墨卡柱
- 同類專利
- 專利分類
H01 基本電氣元件
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
- 化學(xué)品泄漏處理系統(tǒng)
- 化學(xué)品安全信息快速查詢和全周期追蹤數(shù)碼標(biāo)簽系統(tǒng)
- 基于地理位置的混存化學(xué)品的貨運(yùn)車廂管理方法和服務(wù)器
- 基于RFID的化學(xué)品倉庫管理方法和服務(wù)器
- 混存化學(xué)品的貨運(yùn)車廂管理方法和服務(wù)器
- 化學(xué)品倉庫管理方法、服務(wù)器與系統(tǒng)
- 化學(xué)品更換智能防呆系統(tǒng)及方法
- 化學(xué)品自動供給裝置
- 化學(xué)品存取信息記錄方法及化學(xué)品存儲柜
- 核電站化學(xué)品信息管理方法、系統(tǒng)、設(shè)備及存儲介質(zhì)
- 供應(yīng)原材料的分配設(shè)備及方法
- 化學(xué)液供應(yīng)與回收裝置
- 電源供應(yīng)電路、電源供應(yīng)系統(tǒng)以及電源供應(yīng)方法
- 圖像形成裝置及其功率供應(yīng)控制方法
- 液體供應(yīng)裝置及其控制方法
- 用于供應(yīng)棒狀元件的供應(yīng)系統(tǒng)、供應(yīng)單元、供應(yīng)器和方法
- 電力物資供應(yīng)管控方法、裝置和電子設(shè)備
- 材料供應(yīng)裝置、材料供應(yīng)系統(tǒng)及材料供應(yīng)方法
- 材料供應(yīng)裝置、材料供應(yīng)系統(tǒng)
- 供應(yīng)裝置及供應(yīng)系統(tǒng)
