[實用新型]曝光基臺及曝光設備有效
| 申請號： | 201620553224.X | 申請日： | 2016-06-01 |
| 公開（公告）號： | CN205665511U | 公開（公告）日： | 2016-10-26 |
| 發明（設計）人： | 余世榮;吳春暉;孟慶勇;蔣盛超 | 申請（專利權）人： | 合肥京東方光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京三高永信知識產權代理有限責任公司 11138 | 代理人： | 滕一斌 |
| 地址： | 230011 安*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 曝光 設備 | ||
【權利要求書】：
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