[實用新型]柵氧化層完整性測試結構有效
| 申請號： | 201620541909.2 | 申請日： | 2016-06-02 |
| 公開（公告）號： | CN205720547U | 公開（公告）日： | 2016-11-23 |
| 發明（設計）人： | 袁芳;張冠;董燕 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（天津）有限公司;中芯國際集成電路制造（上海）有限公司 |
| 主分類號： | G01R31/26 | 分類號： | G01R31/26;H01L23/544 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 300385 天津市西青*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 氧化 完整性 測試 結構 | ||
【權利要求書】：
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