[實用新型]一種用于極紫外光刻機的動態氣體隔離裝置

有效

• 申請號: 201620536864.X
• 申請日: 2016-06-03
• 公開（公告）號: CN206133184U
• 公開（公告）日: 2017-04-26
• 發明（設計）人: 陳進新;崔惠絨;張立佳;謝婉露;吳曉斌;王宇
• 申請（專利權）人: 中國科學院光電研究院
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司11021
• 代理人: 喬東峰

1.一種用于極紫外光刻機的動態氣體隔離裝置，用于將兩個空間連通的部件進行氣體隔離，包括主體、充氣裝置和法蘭，其中，

所述主體(1)為筒狀，具有兩個開口端，連接兩個開口端的方向為軸向，垂直于軸向的方向為側向；

所述主體(1)在其軸向的中部位置具有隔板(11)、該隔板(11)將筒狀的內部空間隔成兩個腔室；

所述隔板(11)上開有外氣流通道(12)，其連通所述兩個腔室；

在所述隔板(11)內并在所述外氣流通道(12)的側面，沿所述主體的側向開有內氣流通道(13)，所述內氣流通道(13)連接所述充氣裝置；

所述充氣裝置經由所述內氣流通道(13)和外氣流通道(12)向主體內部通入清潔氣體；

所述法蘭用于將所述主體的兩個開口端與需要進行氣體隔離的部件密封連接。

2.如權利要求1所述的用于極紫外光刻機的動態氣體隔離裝置，其特征在于，所述外氣流通道(12)的兩個開口端的孔徑存在差值，即分為窄口端和寬口端，且窄口端和寬口端分別與清潔真空腔室和超清潔真空腔室相連通。

3.如權利要求1所述的用于極紫外光刻機的動態氣體隔離裝置，其特征在于，所述充氣裝置包括外部清潔氣源、氣體質量流量控制器、充氣閥門(2)和管道(3)，所述管道(3)貫通于所述隔板(11)內并與所述內氣流通道(13)連通。

4.如權利要求3所述的用于極紫外光刻機的動態氣體隔離裝置，其特征在于，

所述充氣閥門(2)、管道(3)和內氣流通道(13)分別都具有兩個，各對稱分布于所述隔板(11)的兩側。

5.如權利要求1所述的用于極紫外光刻機的動態氣體隔離裝置，其特征在于，所述內氣流通道(13)內設有至少一個勻流板，所述清潔氣體經過所述勻流板流入所述外氣流通道(12)。

6.如權利要求5所述的用于極紫外光刻機的動態氣體隔離裝置，其特征在于，每個所述內氣流通道(13)內設有四級勻流板(14、15、16、17)，且越靠近所述充氣裝置的勻流板漏孔越稀疏、孔徑越大，越靠近所述外氣流通道(12)的勻流板的漏孔越密、孔徑越小。

7.如權利要求6所述的用于極紫外光刻機的動態氣體隔離裝置，其特征在于，所述充氣裝置包括管道(3)，所述管道(3)貫通于所述隔板(11)內并與所述內氣流通道(13)連通；

最靠近所述充氣裝置的一級勻流板(14)在正對管道、且在管道內直徑的1～2倍直徑區域不布置漏孔。

8.如權利要求5所述的用于極紫外光刻機的動態氣體隔離裝置，其特征在于，所述內氣流通道(13)內設有多級勻流板，各級勻流板的有效漏孔面積之和近似相等。

9.如權利要求1所述的用于極紫外光刻機的動態氣體隔離裝置，其特征在于，所述內氣流通道(13)為喇叭口狀，其窄口端靠近所述外氣流通道(12)。

10.如權利要求3所述的用于極紫外光刻機的動態氣體隔離裝置，其特征在于，所述管道為并排的多個管道，所述多個管道共同連通到所述內氣流通道。