[實用新型]化學銅清洗液過濾循環裝置有效
| 申請號： | 201620506210.2 | 申請日： | 2016-05-30 |
| 公開（公告）號： | CN205760020U | 公開（公告）日： | 2016-12-07 |
| 發明（設計）人： | 何建榮;張純;秦俊陽 | 申請（專利權）人： | 昆山滬利微電有限公司 |
| 主分類號： | B01D29/52 | 分類號： | B01D29/52 |
| 代理公司： | 南京縱橫知識產權代理有限公司32224 | 代理人： | 朱妃;董建林 |
| 地址： | 215300 江蘇省蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 化學 清洗 過濾 循環 裝置 | ||
【說明書】：
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