[實用新型]一種干式刻蝕設備的刻蝕底盤有效
| 申請號： | 201620502802.7 | 申請日： | 2016-05-30 |
| 公開（公告）號： | CN205944030U | 公開（公告）日： | 2017-02-08 |
| 發明（設計）人： | 竺平軍 | 申請（專利權）人： | 浙江優眾新材料科技有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/32 | 分類號： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙)11350 | 代理人： | 湯東鳳 |
| 地址： | 316000 浙江省舟山*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 刻蝕 設備 底盤 | ||
【說明書】：
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