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[實(shí)用新型]一種涂膠自轉(zhuǎn)機(jī)的光刻膠蒸汽回收裝置有效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201620502800.8 申請(qǐng)日: 2016-05-30
公開(公告)號(hào): CN205761986U 公開(公告)日: 2016-12-07
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 竺平軍 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 浙江優(yōu)眾新材料科技有限公司
主分類號(hào): B05B15/04 分類號(hào): B05B15/04
代理公司: 北京科億知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11350 代理人: 湯東鳳
地址: 316000 浙江省舟山*** 國省代碼: 浙江;33
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 涂膠 轉(zhuǎn)機(jī) 光刻 蒸汽 回收 裝置
【權(quán)利要求書】:
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說明:

1、專利原文基于中國國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實(shí)用新型專利、外觀設(shè)計(jì)專利(升級(jí)中);

3、專利數(shù)據(jù)每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、內(nèi)容包括專利技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖流程工藝圖技術(shù)構(gòu)造圖

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