[實(shí)用新型]旋轉(zhuǎn)靶驅(qū)動(dòng)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201620490760.X
• 申請(qǐng)日: 2016-05-25
• 公開（公告）號(hào): CN208151472U
• 公開（公告）日: 2018-11-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 謝守榮;余華駿;黃穎;艾發(fā)智;梁瑞記
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東莞南玻工程玻璃有限公司;中國(guó)南玻集團(tuán)股份有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/35
• 分類號(hào): C23C14/35;C03C17/00
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 44202
• 代理人: 張艷美;郝傳鑫

1.一種旋轉(zhuǎn)靶驅(qū)動(dòng)裝置，適用于磁控濺射鍍膜設(shè)備，用于驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)靶轉(zhuǎn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)濺射鍍膜；其特征在于：所述旋轉(zhuǎn)靶驅(qū)動(dòng)裝置包括支撐座、插接于所述支撐座的驅(qū)動(dòng)軸、及設(shè)置于所述驅(qū)動(dòng)軸內(nèi)的磁鋼支撐軸；所述磁鋼支撐軸的一端伸入所述驅(qū)動(dòng)軸的中心軸孔內(nèi)，所述磁鋼支撐軸的另一端伸出所述驅(qū)動(dòng)軸的中心軸孔以連接所述旋轉(zhuǎn)靶；所述磁鋼支撐軸軸向長(zhǎng)度的3/4以上伸入所述驅(qū)動(dòng)軸的中心軸孔，且伸入所述驅(qū)動(dòng)軸中心軸孔的部分所述磁鋼支撐軸沿軸向的兩端側(cè)與所述驅(qū)動(dòng)軸中心軸孔的內(nèi)壁之間分別設(shè)置有支撐軸承件。

2.如權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)靶驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于：伸入所述驅(qū)動(dòng)軸中心軸孔的部分所述磁鋼支撐軸的軸向長(zhǎng)度占所述驅(qū)動(dòng)軸中心軸孔軸向長(zhǎng)度的2/3以上。

3.如權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)靶驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于：伸入所述驅(qū)動(dòng)軸中心軸孔的部分所述磁鋼支撐軸套設(shè)有隔套；所述隔套的兩端分別與兩端側(cè)的支撐軸承件相接，且所述隔套的外壁與所述驅(qū)動(dòng)軸中心軸孔的內(nèi)壁之間呈間隔設(shè)置。

4.如權(quán)利要求3所述的旋轉(zhuǎn)靶驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于：所述支撐軸承件相對(duì)所述隔套呈對(duì)稱設(shè)置。

5.如權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)靶驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于：所述磁鋼支撐軸和所述驅(qū)動(dòng)軸中心軸孔的內(nèi)壁之間還設(shè)置有密封圈，所述密封圈用于隔阻所述驅(qū)動(dòng)軸中心軸孔和真空鍍膜室；所述密封圈設(shè)置于所述磁鋼支撐軸朝向所述旋轉(zhuǎn)靶的一端，且位于所述驅(qū)動(dòng)軸中心軸孔內(nèi)相對(duì)所述支撐軸承件朝向所述旋轉(zhuǎn)靶的外側(cè)。

6.如權(quán)利要求5所述的旋轉(zhuǎn)靶驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于：所述磁鋼支撐軸上還設(shè)置有限制所述磁鋼支撐軸軸向移動(dòng)的卡簧。

7.如權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)靶驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于：所述驅(qū)動(dòng)軸中心軸孔的一端呈開口狀以供所述磁鋼支撐軸伸出，所述驅(qū)動(dòng)軸中心軸孔的另一端呈封閉狀態(tài)。

8.如權(quán)利要求7所述的旋轉(zhuǎn)靶驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于：所述驅(qū)動(dòng)軸中心軸孔遠(yuǎn)離所述磁鋼支撐軸的一端被封頭螺母遮蔽。

9.如權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)靶驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于：所述磁鋼支撐軸呈一體結(jié)構(gòu)。

10.如權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)靶驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于：所述磁鋼支撐軸伸出所述驅(qū)動(dòng)軸中心軸孔的一端設(shè)置有用于連接所述旋轉(zhuǎn)靶的卡接端。