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[實用新型]一種高純硅烷氣生產線有效

專利信息
申請號: 201620461803.1 申請日: 2016-05-20
公開(公告)號: CN205634906U 公開(公告)日: 2016-10-12
發明(設計)人: 李紅彬;鄭亮;尤威 申請(專利權)人: 河南硅烷科技發展股份有限公司
主分類號: C01B33/04 分類號: C01B33/04
代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350 代理人: 湯東鳳
地址: 452670 河南省*** 國省代碼: 河南;41
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 高純 硅烷 生產線
【權利要求書】:
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說明:

1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

3、專利數據每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

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