[實用新型]掩模板有效
| 申請號： | 201620459452.0 | 申請日： | 2016-05-18 |
| 公開（公告）號： | CN205590781U | 公開（公告）日： | 2016-09-21 |
| 發明（設計）人： | 徐鵬;潘晟愷;喬永康 | 申請（專利權）人： | 合肥鑫晟光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/04 | 分類號： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112 | 代理人： | 羅瑞芝;陳源 |
| 地址： | 230012 *** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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【說明書】：
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