[實用新型]MEMS結構有效
| 申請號： | 201620455747.0 | 申請日： | 2016-05-18 |
| 公開（公告）號： | CN205647989U | 公開（公告）日： | 2016-10-12 |
| 發明（設計）人： | 萬蔡辛;朱佳輝 | 申請（專利權）人： | 北京卓銳微技術有限公司 |
| 主分類號： | H04R19/04 | 分類號： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京成創同維知識產權代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡純;張靖琳 |
| 地址： | 100191 北京市海*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | mems 結構 | ||
【權利要求書】：
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