[實用新型]一種適用于高過載環境的MEMS器件激活機構有效
申請號: | 201620402899.4 | 申請日: | 2016-05-06 |
公開(公告)號: | CN205592628U | 公開(公告)日: | 2016-09-21 |
發明(設計)人: | 張志東;曹慧亮;吳景;郭戌瑞;仇彥男;張日欣;張增磊;薛日輝;杜嘉麗 | 申請(專利權)人: | 中北大學 |
主分類號: | F16P7/00 | 分類號: | F16P7/00;B81B7/00 |
代理公司: | 太原科衛專利事務所(普通合伙) 14100 | 代理人: | 朱源;王勇 |
地址: | 030051 山*** | 國省代碼: | 山西;14 |
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摘要: | |||
搜索關鍵詞: | 一種 適用于 過載 環境 mems 器件 激活 機構 | ||
【權利要求書】:
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