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[實用新型]光線收集透鏡、曝光光學系統、曝光頭及曝光裝置有效

專利信息
申請號: 201620366375.4 申請日: 2016-04-27
公開(公告)號: CN205563074U 公開(公告)日: 2016-09-07
發明(設計)人: 周禮書;霍永峰 申請(專利權)人: 成都歐恒光電科技有限公司
主分類號: G03F7/20 分類號: G03F7/20
代理公司: 四川力久律師事務所 51221 代理人: 王蕓;熊曉果
地址: 610000 四*** 國省代碼: 四川;51
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摘要:
搜索關鍵詞: 光線 收集 透鏡 曝光 光學系統 裝置
【說明書】:
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說明:

1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

3、專利數據每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、內容包括專利技術的結構示意圖、流程工藝圖技術構造圖;

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