[實用新型]涂膠顯影機上蓋清洗裝置有效
| 申請號： | 201620362868.0 | 申請日： | 2016-04-26 |
| 公開（公告）號： | CN205570884U | 公開（公告）日： | 2016-09-14 |
| 發明（設計）人： | 顧燁 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（天津）有限公司;中芯國際集成電路制造（上海）有限公司 |
| 主分類號： | B08B3/02 | 分類號： | B08B3/02;B08B3/08;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 300385 天津市西青*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 涂膠 顯影 機上蓋 清洗 裝置 | ||
【權利要求書】：
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