[實用新型]一種碳化硅外延生長裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201620357583.8 | 申請日： | 2016-04-26 |
| 公開（公告）號： | CN205711042U | 公開（公告）日： | 2016-11-23 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 趙紅偉 | 申請（專利權(quán)）人： | 北京世紀(jì)金光半導(dǎo)體有限公司 |
| 主分類號： | C30B29/36 | 分類號： | C30B29/36;C30B25/14;C30B25/20 |
| 代理公司： | 北京中創(chuàng)陽光知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11003 | 代理人： | 尹振啟;張希宇 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 碳化硅 外延 生長 裝置 | ||
【說明書】：
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