[實用新型]基于開關特性測量的IGBT芯片篩選結構有效
| 申請號: | 201620356492.2 | 申請日: | 2016-04-25 |
| 公開(公告)號: | CN206148403U | 公開(公告)日: | 2017-05-03 |
| 發明(設計)人: | 唐新靈;莫申楊;崔翔;趙志斌;張朋;李金元;溫家良 | 申請(專利權)人: | 華北電力大學;全球能源互聯網研究院;國家電網公司 |
| 主分類號: | H01L21/66 | 分類號: | H01L21/66 |
| 代理公司: | 北京安博達知識產權代理有限公司11271 | 代理人: | 徐國文 |
| 地址: | 102206*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 基于 開關 特性 測量 igbt 芯片 篩選 結構 | ||
1.一種基于開關特性測量的IGBT芯片篩選結構,其特征在于,所述IGBT芯片篩選結構包括上端蓋(1)、下端蓋(4)和發射極金屬電極(5);
所述上端蓋(1)和下端蓋(4)均為凹形蓋,所述上端蓋(1)和下端蓋(4)的兩側壁通過外框架彈簧(3)連接形成一個長方體框架;所述上端蓋(1)和下端蓋(4)的側壁均設置有定位孔,二者通過定位銷(2)固定;
所述發射極金屬電極(5)設置在所述長方體框架內,其包括圓盤形金屬電極(51),及相對該圓盤形金屬電極(51)的中心軸對稱分布的多個凸臺(52),所述凸臺(52)上放置IGBT模塊;
所述圓盤形金屬電極(51)布置在所述下端蓋(4)上,其上面和側面分別設置有一個柵極PCB板(55)和一個輔助柵極/發射極端子(54),該輔助柵極/發射極端子(54)用于連接IGBT芯片驅動板的負極。
2.如權利要求1所述的一種基于開關特性測量的IGBT芯片篩選結構,其特征在于,
所述上端蓋(1)的上表面為光滑導電銅塊(11),兩側壁為絕緣陶瓷(12);
所述下端蓋(4)的下表面為光滑導電銅塊(41),兩側壁為絕緣陶瓷(42)。
3.如權利要求1所述的一種基于開關特性測量的IGBT芯片篩選結構,其特征在于,所述IGBT模塊包括柵極彈簧頂針(53)、塑料框架(56)、IGBT芯片(57)、鉬片(58)和陶瓷端蓋(59);
所述IGBT芯片(57)和鉬片(58)順次設置在所述凸臺(52)的上表面;所述IGBT芯片(57)的發射極一側設置在所述凸臺(52)上表面,集電極一側設置在所述鉬片(58)的下表面;
所述塑料框架(56)為由四個側壁構成的塑料框架,其套設在所述凸臺(52)的外側;
所述陶瓷端蓋(59)包括由四個陶瓷側壁組成的陶瓷外殼(592)和一個頂部銅塊(591),該陶瓷端蓋(59)套設在所述塑料框架(56)的外側;
所述柵極彈簧頂針(53),用于連接所述柵極PCB板(55)與所述IGBT芯片(57)的柵極。
4.如權利要求3所述的一種基于開關特性測量的IGBT芯片篩選結構,其特征在于,所述陶瓷端蓋(59)還包括導電銅片(593)、端蓋彈簧(594)和導電銅塊(595);
所述導電銅塊(595)設置在所述鉬片(58)的上表面;
所述端蓋彈簧(594)連接所述頂部銅塊(591)與導電銅塊(595);
所述導電銅片(593)也連接所述頂部銅塊(591)與導電銅塊(595)。
5.如權利要求3所述的一種基于開關特性測量的IGBT芯片篩選結構,其特征在于,所述凸臺(52)的一角為缺口;所述柵極彈簧頂針(53)設置在所述缺口內。
6.如權利要求1所述的一種基于開關特性測量的IGBT芯片篩選結構,其特征在于,所述圓盤形金屬電極(51)的厚度為5~8mm。
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H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
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H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





