[實用新型]電子和離子的等離子體源有效
| 申請號： | 201620335040.6 | 申請日： | 2016-04-20 |
| 公開（公告）號： | CN205609471U | 公開（公告）日： | 2016-09-28 |
| 發明（設計）人： | 于寶海;謝廣亮 | 申請（專利權）人： | 沈陽伊貝姆科技有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/32 | 分類號： | H01J37/32;H05H1/24 |
| 代理公司： | 沈陽晨創科技專利代理有限責任公司 21001 | 代理人： | 張晨 |
| 地址： | 110000 遼寧省沈陽*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 電子 離子 等離子體 | ||
【權利要求書】：
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