[實用新型]具有溫度調節功能的托盤單元及利用其的基板放置系統有效
| 申請號: | 201620284708.9 | 申請日: | 2016-04-07 |
| 公開(公告)號: | CN205452233U | 公開(公告)日: | 2016-08-10 |
| 發明(設計)人: | 鄭相坤;金亨源;丘璜燮;金鉉濟;鄭熙錫 | 申請(專利權)人: | 吉佳藍科技股份有限公司 |
| 主分類號: | H01J37/32 | 分類號: | H01J37/32;H01J37/20 |
| 代理公司: | 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243 | 代理人: | 張敬強;嚴星鐵 |
| 地址: | 韓國*** | 國省代碼: | 韓國;KR |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 具有 溫度 調節 功能 托盤 單元 利用 放置 系統 | ||
【說明書】:
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