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[實用新型]晶棒加工設備及用于該設備的主軸機構有效

專利信息
申請號: 201620281401.3 申請日: 2016-04-06
公開(公告)號: CN205497177U 公開(公告)日: 2016-08-24
發明(設計)人: 盧建偉 申請(專利權)人: 上海日進機床有限公司
主分類號: B24B27/00 分類號: B24B27/00;B24B41/00;B24B41/04;B24B19/22;B24B41/06;B24B29/02
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 201601 上海*** 國省代碼: 上海;31
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摘要:
搜索關鍵詞: 加工 設備 用于 主軸 機構
【權利要求書】:
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1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

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