[實用新型]一種磁控濺射靶盤卡槽有效
| 申請號： | 201620243429.8 | 申請日： | 2016-03-21 |
| 公開（公告）號： | CN205556770U | 公開（公告）日： | 2016-09-07 |
| 發明（設計）人： | 喬憲武 | 申請（專利權）人： | 中國計量學院 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 磁控濺射 靶盤卡槽 | ||
【說明書】：
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