[實用新型]一種準確定位晶圓長晶曲線的MOCVD設備有效
| 申請號： | 201620234119.X | 申請日： | 2016-03-24 |
| 公開（公告）號： | CN205443507U | 公開（公告）日： | 2016-08-10 |
| 發明（設計）人： | 江漢;藍永凌;黃文賓;林兓兓;張家宏 | 申請（專利權）人： | 安徽三安光電有限公司 |
| 主分類號： | C30B25/02 | 分類號： | C30B25/02;C30B25/16;C30B25/12 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 241000 安徽*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 準確 定位 晶圓長晶 曲線 mocvd 設備 | ||
【權利要求書】：
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