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[實用新型]氮氣反應濺射制備CoCr/Sb極紫外多層膜人工晶體單色器有效

專利信息
申請號: 201620150760.5 申請日: 2016-02-29
公開(公告)號: CN205562037U 公開(公告)日: 2016-09-07
發明(設計)人: 朱京濤;朱圣明;金長利;朱運平 申請(專利權)人: 蘇州宏策光電科技有限公司
主分類號: G01J3/26 分類號: G01J3/26
代理公司: 北京高航知識產權代理有限公司 11530 代理人: 趙永強
地址: 215400 江蘇*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 氮氣 反應 濺射 制備 cocr sb 紫外 多層 人工 晶體 單色
【說明書】:
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1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

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4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

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