[實用新型]氮氣反應濺射制備CoCr/Sb極紫外多層膜人工晶體單色器有效
| 申請號: | 201620150760.5 | 申請日: | 2016-02-29 |
| 公開(公告)號: | CN205562037U | 公開(公告)日: | 2016-09-07 |
| 發明(設計)人: | 朱京濤;朱圣明;金長利;朱運平 | 申請(專利權)人: | 蘇州宏策光電科技有限公司 |
| 主分類號: | G01J3/26 | 分類號: | G01J3/26 |
| 代理公司: | 北京高航知識產權代理有限公司 11530 | 代理人: | 趙永強 |
| 地址: | 215400 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 氮氣 反應 濺射 制備 cocr sb 紫外 多層 人工 晶體 單色 | ||
【說明書】:
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