[實用新型]一種真空鍍膜襯底高溫加熱裝置

有效

• 申請號: 201620141448.X
• 申請日: 2016-02-25
• 公開（公告）號: CN205368491U
• 公開（公告）日: 2016-07-06
• 發明（設計）人: 廖峻;張軍;邵樂喜;李達;莫德云;王磊
• 申請（專利權）人: 嶺南師范學院
• 主分類號: C23C14/54
• 分類號: C23C14/54
• 代理公司: 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102
• 代理人: 林偉斌

技術領域

本實用新型涉及真空的技術領域，更具體地，涉及一種真空鍍膜襯底高溫加熱裝置。

背景技術

當前的真空鍍膜技術中，真空射頻濺射鍍膜技術是一種常用的鍍膜技術之一，由于它具有成膜均勻度高、附著力強等特點，在集成電路和固體電子器件的生產中得到廣泛的應用。為了提高薄膜的性能，經常需要給襯底加熱，因為襯底溫度與薄膜性能有十分緊密的聯系，如ZnO薄膜的擇優取向、內應力等參數，然而在鍍膜過程中，襯底暴露于真空室內，由于工作氣體在電場作用下發生電離，真空室內存在大量帶電粒子，這些帶電粒子很容易在加熱導線間聚集放電而形成短路，導致燒毀保險絲或電阻絲而導致加熱無法進行。

發明內容

本實用新型為克服上述現有技術所述的至少一種缺陷，提供一種真空鍍膜襯底高溫加熱裝置，僅有加熱片上的凹槽暴露在真空室內，有效防止了帶電粒子在加熱導線間放電而形成短路。

為解決上述技術問題，本實用新型采用的技術方案是：一種真空鍍膜襯底高溫加熱裝置，其中，包括屏蔽盒、法蘭、接線柱、熱電偶、導電片、加熱片夾具、加熱片，所述的熱電偶、導電片、加熱片夾具均置于屏蔽盒內；

所述的法蘭包括熱電偶法蘭和導電片法蘭，所述的熱電偶一端與熱電偶法蘭固定，另一端延伸到加熱片上；接線柱設于熱電偶法蘭和導電片法蘭上；

導電片法蘭上的接線柱連接導電片，導電片一側設有加熱片夾具，加熱片夾具之間夾緊加熱片；

所述的屏蔽盒在兩加熱片夾具之間上方開有一個窗口。

進一步的，所述的加熱片上設有凹槽，凹槽內放置襯底，使加熱片上的凹槽能暴露于真空室中。

進一步的，所述的熱電偶位于襯底上方0.5~2cm，通過熱電偶法蘭外端的接線柱與外電路連接。

進一步的，所述的導電片為波浪形銅片，位于加熱片夾具和導電片法蘭之間，連接導電片法蘭上端的接線柱，有效防止加熱和冷卻過程中由于熱脹冷縮而產生的拉伸效應。

進一步的，所述的加熱片夾具上設有兩顆固定螺絲，用于固定加熱片。所述的加熱片是低阻硅片。

與現有技術相比，有益效果是：本實用新型將加熱片固定在兩加熱片夾具之間，調節輸入電流的大小即可對襯底進行加熱。由于采用了屏蔽盒的設計并且加熱導線之間距離較遠，僅有加熱片上的凹槽暴露在真空室內，有效防止了帶電粒子在加熱導線間放電而形成短路。

附圖說明

圖1是本實用新型真空鍍膜襯底高溫加熱裝置全圖。

圖2是本實用新型真空鍍膜襯底高溫加熱裝置具體工件圖。

具體實施方式

附圖僅用于示例性說明，不能理解為對本專利的限制；為了更好說明本實施例，附圖某些部件會有省略、放大或縮小，并不代表實際產品的尺寸；對于本領域技術人員來說，附圖中某些公知結構及其說明可能省略是可以理解的。附圖中描述位置關系僅用于示例性說明，不能理解為對本專利的限制。

如圖1、2所示，一種真空鍍膜襯底高溫加熱裝置，其中，包括屏蔽盒1、法蘭、接線柱3、熱電偶4、導電片5、加熱片夾具6、加熱片8，熱電偶4、導電片5、加熱片夾具6均置于屏蔽盒1內；

法蘭包括熱電偶法蘭21和導電片法蘭22，熱電偶4一端與熱電偶法蘭21固定，另一端延伸到加熱片8上；接線柱3設于熱電偶法蘭21和導電片法蘭22上；

導電片法蘭22上的接線柱3連接導電片5，導電片5一側設有加熱片夾具6，加熱片夾具6之間夾緊加熱片8；

屏蔽盒1在兩加熱片夾具6之間上方開有一個窗口，使襯底能暴露于真空室中。

熱電偶4位于襯底上方1cm，通過熱電偶法蘭21外端的接線柱3與外電路連接，所述的導電片5為2cm寬的波浪形純銅片，位于加熱片夾具6和導電片法蘭22之間，連接導電片法蘭22上端的接線柱，有效防止加熱和冷卻過程中由于熱脹冷縮而產生的拉伸效應；所述的加熱片夾具6上均有兩顆固定螺絲7，用于固定加熱片；所述的加熱片8是低阻硅片，低阻硅片上留有放置襯底的凹槽9；所有電源來源均通過屏蔽盒外的接線柱連接外電路得到。

工作原理：我們把真空鍍膜襯底高溫加熱裝置固定于真空室內，連接好外電路，通過調節輸入電流的大小控制襯底加熱的溫度，襯底溫度由熱電偶連接的溫度顯示儀可直接顯示。由于采用了屏蔽盒的設計并且加熱導線之間距離較遠，僅有襯底暴露在真空室內，使得可以實現襯底加熱的同時，又有效防止了帶電粒子在加熱導線間放電而形成短路。

顯然，本實用新型的上述實施例僅僅是為清楚地說明本實用新型所作的舉例，而并非是對本實用新型的實施方式的限定。對于所屬領域的普通技術人員來說，在上述說明的基礎上還可以做出其它不同形式的變化或變動。這里無需也無法對所有的實施方式予以窮舉。凡在本實用新型的精神和原則之內所作的任何修改、等同替換和改進等，均應包含在本實用新型權利要求的保護范圍之內。