[實用新型]尾部壓緊機(jī)構(gòu)及硅錠開方切割設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201620111413.1
• 申請日: 2016-02-02
• 公開（公告）號: CN205380793U
• 公開（公告）日: 2016-07-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 盧建偉
• 申請（專利權(quán)）人: 上海日進(jìn)機(jī)床有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D5/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及切割領(lǐng)域，尤其涉及一種應(yīng)用于硅錠開方切割設(shè)備的尾部壓緊機(jī)構(gòu)及硅錠開方切割設(shè)備。

背景技術(shù)

線切割技術(shù)是目前世界上比較先進(jìn)的開方加工技術(shù)，它的原理是通過高速運(yùn)動的金剛線對待加工工件(例如：硅棒、藍(lán)寶石、或其他半導(dǎo)體硬脆材料)進(jìn)行摩擦，切出方錠，從而達(dá)到切割目的。在對工件的切割過程中，金剛線通過導(dǎo)線輪的引導(dǎo)，在主線輥上形成一張線網(wǎng)，而待加工工件通過工作臺的上升下降實現(xiàn)工件的進(jìn)給，在壓力泵的作用下，裝配在設(shè)備上的冷卻水自動噴灑裝置將冷卻水噴灑至金剛線和工件的切削部位，由金剛線往復(fù)運(yùn)動產(chǎn)生切削，以將半導(dǎo)體等硬脆材料一次同時切割為多塊。線切割技術(shù)與傳統(tǒng)的刀鋸片、砂輪片及內(nèi)圓切割相比具有效率高、產(chǎn)能高、精度高等優(yōu)點。

目前的線切割設(shè)備將待加工工件切割為成塊的成品時，需要先對待加工工件進(jìn)行縱向切割以獲得成片的成品，再進(jìn)行橫向切割獲得成塊的成品，然而，線切割設(shè)備在切割最后一排硅錠時，由于只有一排硅錠，自身重量不夠，會產(chǎn)生位移，硅錠在位移時容易與金剛線再次接觸造成切割損傷，影響成品的質(zhì)量。

實用新型內(nèi)容

本實用新型提供一種尾部壓緊機(jī)構(gòu)及硅錠開方切割設(shè)備，用于解決待加工工件在現(xiàn)有的切割設(shè)備在切割最后一排硅錠時容易位移而影響成品的質(zhì)量等問題。

本實用新型一方面提供一種應(yīng)用于硅錠開方切割設(shè)備的尾部壓緊機(jī)構(gòu)，所述硅錠開方切割設(shè)備包括切割機(jī)構(gòu)以及承載架體，所述承載架體底部設(shè)有供承載待切割硅錠的承載臺，所述尾部壓緊機(jī)構(gòu)包括：設(shè)于所述承載架體上部的旋轉(zhuǎn)件；設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)件上的壓緊件；以及設(shè)于所述承載架體并連接于所述旋轉(zhuǎn)件的驅(qū)動件；當(dāng)所述切割機(jī)構(gòu)切割所述待切割硅錠時，所述驅(qū)動件驅(qū)動所述旋轉(zhuǎn)件以帶動所述壓緊件旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動，直至所述壓緊件抵壓于所述待切割硅錠的尾部。

可選地，所述旋轉(zhuǎn)件包括：固設(shè)于所述承載架體上的兩個旋轉(zhuǎn)軸座；以及設(shè)于兩個所述旋轉(zhuǎn)軸座之間的旋轉(zhuǎn)軸；所述壓緊件卡設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)軸上，所述驅(qū)動件連接于所述旋轉(zhuǎn)軸以驅(qū)動所述旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動。

可選地，所述壓緊件包括：壓桿，包括卡設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)軸的卡設(shè)端和相對于所述卡設(shè)端的壓緊端；以及設(shè)于所述壓緊端以抵壓于所述待切割硅錠的壓緊觸頭。

可選地，所述卡設(shè)端設(shè)有卡緊組件，所述卡緊組件包括均帶有半圓形凹槽的第一拼板和第二拼板，所述第一拼板與所述壓桿一體構(gòu)造成型，當(dāng)所述第一拼板和所述第二拼板拼接后，兩個所述半圓形凹槽構(gòu)成供所述旋轉(zhuǎn)軸穿設(shè)的卡口。

可選地，所述壓緊觸頭包括：設(shè)于所述壓緊端的緩沖彈簧；以及設(shè)于所述緩沖彈簧中遠(yuǎn)離所述壓緊端的一端的壓墊。

可選地，所述壓緊端穿設(shè)有螺桿，所述螺桿包括分別位于所述壓緊端兩側(cè)的套設(shè)有緊固螺母的第一端和套設(shè)有所述緩沖彈簧的第二端，所述第二端的長度小于所述緩沖彈簧的自有長度。

可選地，所述驅(qū)動件包括：壓緊氣缸；以及連桿，包括通過魚眼軸承連接于所述壓緊氣缸的活塞桿的第一連接端以及連接于所述旋轉(zhuǎn)軸的第二連接端。

本實用新型另一方面提供一種硅錠開方切割設(shè)備，包括：底座；設(shè)于所述底座上的承載架體，所述承載架體底部設(shè)有供承載待切割硅錠的承載臺，所述承載臺設(shè)有并行的多個切割縫；切割機(jī)構(gòu)，包括設(shè)于所述底座上的切割支架以及并行架設(shè)于所述切割支架的多條切割線；當(dāng)所述承載臺與所述切割支架相對趨近運(yùn)動時，所述切割線對所述承載臺上的所述待切割硅錠進(jìn)行切割，所述切割線在切割所述待切割硅錠時位于所述切割縫內(nèi)；以及上述的尾部壓緊機(jī)構(gòu)。

可選地，所述切割支架上架設(shè)有多對切割輥，任一對所述切割輥中的兩個所述切割輥為上下設(shè)置，對應(yīng)纏繞在一對所述切割輥上的切割線形成切割網(wǎng)；或者所述切割支架上架設(shè)有多對切割輪，任一對所述切割輪中的兩個所述切割輪為上下設(shè)置，對應(yīng)纏繞在多對所述切割輪上的切割線形成切割網(wǎng)。

可選地，所述底座上相對設(shè)置有供所述承載臺和/或所述切割機(jī)構(gòu)滑動的一對滑軌；所述滑軌為滑槽，所述承載臺的底部設(shè)有適于所述滑槽內(nèi)的滑輪；或者，所述滑軌上設(shè)有滑輪，所述承載臺的底部設(shè)有對應(yīng)所述滑輪的滑槽。

本實用新型尾部壓緊機(jī)構(gòu)及硅錠開方切割設(shè)備，至少具有如下技術(shù)效果或優(yōu)點：

通過在硅錠開方切割設(shè)備的承載架體上設(shè)置尾部壓緊機(jī)構(gòu)，當(dāng)硅錠開方切割設(shè)備的切割機(jī)構(gòu)切割所述待切割硅錠時，所述升降部件下降并帶動所述壓制件抵壓于即將成塊的待切割硅錠上，使得待切割硅錠在切割成塊的瞬間因所述壓制件的壓制而不會跳動移位，從而不會導(dǎo)致成塊的硅錠與切割線觸碰而造成損傷。

附圖說明