[實用新型]一種新型真空鍍膜設備的視窗裝置

有效

• 申請號: 201620109077.7
• 申請日: 2016-02-03
• 公開（公告）號: CN205347567U
• 公開（公告）日: 2016-06-29
• 發明（設計）人: 黃裕祥
• 申請（專利權）人: 廣東耐信鍍膜科技有限公司
• 主分類號: C23C14/52
• 分類號: C23C14/52
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及真空鍍膜設備視窗，尤其涉及一種新型真空鍍膜設備的視窗裝置。

背景技術

視窗裝置主要負責真空鍍膜設備中觀察真空腔體內大轉盤，衛星盤、夾具以及裝在夾具上的工件在不同工藝過程中的狀態，對鍍膜設備的正常運行，發現工藝的異常情況等起著非常關鍵的作用。

傳統的視窗裝置采用真空密封玻璃較厚（12mm），視窗前面（朝真空腔體一側）裝有不銹鋼擋板，該擋板平時關閉，要觀察時，手動打開擋板即可進行觀察。視窗口周圍以及真空腔體的門上都裝有冷卻水管，冷卻水的循環保證視窗口周圍以及真空腔體的密封配件不會因加熱而變形或受損。工藝過程中，視窗擋板雖然多數情況下關閉，但是鈦和碳的涂層還是會很快在玻璃上不斷累積而使得玻璃變得模糊不清，一段時間后就得更換真空密封玻璃。該密封玻璃生產成本較高，而且要定制。

實用新型內容

本實用新型是為了解決上述不足，提供了一種新型真空鍍膜設備的視窗裝置。

本實用新型的上述目的是通過以下的技術方案來實現：一種新型真空鍍膜設備的視窗裝置，其特征在于：包括視窗腔體，視窗腔體上設有冷卻水管，所述視窗腔體外側端設有玻璃安裝框架，玻璃安裝框架安裝有真空密封玻璃，所述真空密封玻璃內側粘貼有一塊普通玻璃。

所述普通玻璃的厚度為3～5mm。

所述普通玻璃的直徑小于真空密封玻璃直徑1～3mm。

使用時，本實用新型的視窗裝置安裝在真空鍍膜設備機架上部的真空腔體的密封門上。

本實用新型在原有的真空密封玻璃上朝真空室內側使用粘貼有一塊厚度為3～5mm的普通玻璃，直徑略小于真空密封玻璃，使得工藝過程中鈦和碳的涂層先沉積到普通玻璃上，再按時更換普通玻璃即可達到保護密封玻璃的效果，從而延長密封玻璃的使用壽命。

本實用新型與現有技術相比的優點是：本實用新型的視窗裝置配置靈活，工作性能穩定，較大幅度提高了真空密封玻璃的使用壽命。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖。

圖2是圖1中A-A處的剖面圖。

圖3是圖1中B-B處的剖面圖。

圖4是本實用新型應用于真空鍍膜設備的結構示意圖。

圖5是本實用新型安裝在真空鍍膜設備真空腔體門上的正面結構示意圖。

圖6是本實用新型安裝在真空鍍膜設備真空腔體門上的立體結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型進一步詳述。

如圖1至圖6所示，一種新型真空鍍膜設備的視窗裝置，包括視窗腔體1，視窗腔體1上設有冷卻水管2，所述視窗腔體1外側端設有玻璃安裝框架3，玻璃安裝框架3安裝有真空密封玻璃4，所述真空密封玻璃4內側粘貼有一塊普通玻璃5。

所述普通玻璃5的厚度為3～5mm。

所述普通玻璃5直徑小于真空密封玻璃4直徑1～3mm。

使用時，本實用新型的視窗裝置安裝在真空鍍膜設備機架6上部的真空腔體7的密封門8上。

以上所述僅為本實用新型的實施例，并非因此限制本實用新型的專利范圍，凡是利用本實用新型說明書及附圖內容所作的等效結構或等效流程變換，或直接或間接運用在其他相關的技術領域，均同理包括在本實用新型的專利保護范圍內。