[實用新型]一種用于光刻機對準曝光工序的物鏡切換裝置有效
| 申請號： | 201620109028.3 | 申請日： | 2016-02-03 |
| 公開（公告）號： | CN205539929U | 公開（公告）日： | 2016-08-31 |
| 發明（設計）人： | 沈顯勇 | 申請（專利權）人： | 合肥亞歌半導體科技合伙企業（有限合伙） |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 合肥天明專利事務所 34115 | 代理人： | 張祥騫;奚華保 |
| 地址： | 230088 安*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 光刻 對準 曝光 工序 物鏡 切換 裝置 | ||
【說明書】：
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