[實用新型]一種基板研磨裝置

有效

• 申請號: 201620107882.6
• 申請日: 2016-02-02
• 公開（公告）號: CN205325427U
• 公開（公告）日: 2016-06-22
• 發明（設計）人: 胡維勤;陳常旭
• 申請（專利權）人: 北京京東方顯示技術有限公司;京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: B24B37/10
• 分類號: B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34;B24B41/02;B24B57/02
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

1.一種基板研磨裝置，其特征在于，包括載物臺、升降臺和磨頭，其中，所述升降臺位于 所述載物臺上方，所述升降臺可沿垂直于所述載物臺的上表面的方向做升降移動；所述磨 頭安裝在所述升降臺上，所述磨頭可對放置在所述載物臺的上表面上的待研磨基板的研磨 區進行研磨，所述研磨區為所述待研磨基板上有局部劃痕的區域。

2.根據權利要求1所述的基板研磨裝置，其特征在于，所述載物臺的上表面的邊緣設置 有垂直于所述載物臺的上表面的升降導柱；所述升降臺安裝在所述升降導柱上，所述升降 臺可沿所述升降導柱的長度方向做升降移動。

3.根據權利要求2所述的基板研磨裝置，其特征在于，所述載物臺的上表面呈矩形，所 述升降導柱的數量為兩個，兩個所述升降導柱分別位于所述載物臺的上表面的兩個相對的 邊緣；

所述升降臺包括支撐桿，所述磨頭安裝在所述支撐桿上；所述支撐桿的兩端分別安裝 在對應的所述升降導柱上，所述支撐桿與升降驅動裝置連接，所述升降驅動裝置驅動所述 支撐桿沿所述升降導柱的長度方向做升降移動。

4.根據權利要求3所述的基板研磨裝置，其特征在于，所述磨頭滑動安裝在所述支撐桿 上。

5.根據權利要求3所述的基板研磨裝置，其特征在于，所述載物臺中設有通槽，所述通 槽的開口位于所述載物臺的上表面，所述通槽的延伸方向平行于所述載物臺的上表面，且 所述通槽的延伸方向不平行于所述支撐桿的長度方向；所述載物臺包括滑動安裝在所述通 槽內的載物板，所述待研磨基板放置在所述載物板的上表面上。

6.根據權利要求1所述的基板研磨裝置，其特征在于，所述基板研磨裝置還包括壓頭， 所述壓頭安裝在所述升降臺上；所述磨頭隨所述升降臺朝向所述載物臺移動，所述磨頭與 所述待研磨基板的研磨區接觸時，所述壓頭將所述待研磨基板壓緊在所述載物臺的上表面 上。

7.根據權利要求6所述的基板研磨裝置，其特征在于，所述升降臺包括安裝盤，所述磨 頭和所述壓頭分別安裝在所述安裝盤上，所述磨頭位于所述安裝盤的中部，所述壓頭位于 所述安裝盤的邊緣。

8.根據權利要求7所述的基板研磨裝置，其特征在于，所述壓頭的數量為四個，四個所 述壓頭均勻分布在所述安裝盤的邊緣。

9.根據權利要求6所述的基板研磨裝置，其特征在于，所述壓頭包括安裝在所述升降臺 上的壓頭支柱和位于所述壓頭支柱下方的壓板，所述壓頭支柱上設置有用于調節所述壓板 施加在所述待研磨基板上的壓力的調壓件。

10.根據權利要求9所述的基板研磨裝置，其特征在于，沿所述壓頭支柱的長度方向，所 述壓頭支柱內具有容納腔；

所述調壓件包括彈性件、壓柱和調節旋鈕，其中，所述彈性件和所述壓柱均位于所述容 納腔內，所述彈性件的一端與所述壓板連接，所述彈性件的另一端與所述壓柱連接；所述壓 柱與所述調節旋鈕連接，旋轉所述調節旋鈕，所述壓柱在所述容納腔內可沿所述壓頭支柱 的長度方向滑動。

11.根據權利要求9所述的基板研磨裝置，其特征在于，所述壓板與所述待研磨基板接 觸的表面上設置有緩沖層。

12.根據權利要求1所述的基板研磨裝置，其特征在于，所述磨頭包括磨頭本體和磨頭 支柱，所述磨頭支柱的一端與所述磨頭本體連接，所述磨頭支柱的另一端安裝在所述升降 臺上；所述磨頭本體與磨頭驅動裝置連接，所述磨頭驅動裝置驅動所述磨頭本體對所述待 研磨基板的研磨區進行研磨；

所述磨頭支柱內設置有研磨劑導管；所述磨頭本體內開設有貫通孔，所述貫通孔的一 端開口與所述研磨劑導管的出口連通，所述貫通孔的另一端開口位于所述磨頭本體的研磨 面上。

13.根據權利要求12所述的基板研磨裝置，其特征在于，所述貫通孔為圓柱形貫通孔， 所述圓柱形貫通孔的直徑為1.5mm～3mm。