[實(shí)用新型]一種碳化硅單晶生長用復(fù)合保溫結(jié)構(gòu)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201620103708.4 | 申請日： | 2016-02-02 |
| 公開（公告）號： | CN205529147U | 公開（公告）日： | 2016-08-31 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 李龍遠(yuǎn) | 申請（專利權(quán)）人： | 北京華進(jìn)創(chuàng)威電子有限公司 |
| 主分類號： | C30B29/36 | 分類號： | C30B29/36;C30B23/00 |
| 代理公司： | 北京中創(chuàng)陽光知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11003 | 代理人： | 尹振啟 |
| 地址： | 101111 北京市大*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 碳化硅 生長 復(fù)合 保溫 結(jié)構(gòu) | ||
【說明書】：
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