[實用新型]一種半導體芯片拋光機

有效

• 申請號: 201620095556.8
• 申請日: 2016-01-29
• 公開（公告）號: CN205310072U
• 公開（公告）日: 2016-06-15
• 發明（設計）人: 于如遠;高培成
• 申請（專利權）人: 濟南金銳電子有限公司
• 主分類號: B24B57/02
• 分類號: B24B57/02;B24B37/27
• 代理公司: 濟南鼎信專利商標代理事務所(普通合伙) 37245
• 代理人: 曹玉琳

1.一種半導體芯片拋光機，包括固定架(1)，其特征在于：所述固定架 (1)底部安裝電機(6)，所述固定架(1)上安裝用于控制電機(6)轉速的 調節開關(7)，所述固定架(1)頂部設置上臺板(2)，所述上臺板(2)上 設置半圓孔(5)，所述電機(6)為空心軸電機，所述電機(6)傳動軸上設置 空心軸(3)，所述空心軸(3)一端穿過上臺板(2)暴露在上臺板(2)頂端， 所述空心軸(3)另一端穿過固定架(1)暴露在固定架(1)底端，所述空心軸 (3)底部設置萬向接頭(8)，所述萬向接頭(8)底端設置抽氣管(9)，所 述抽氣管(9)一端設置抽氣機(10)。

2.根據權利要求1所述的一種半導體芯片拋光機，其特征在于：所述空心 軸(3)頂端設置蓋板(4)，所述蓋板(4)上設置通孔(13)，所述蓋板(4) 與空心軸(3)螺栓連接。

3.根據權利要求1所述的一種半導體芯片拋光機，其特征在于：所述空心 軸(3)與上臺板(2)連接處設置上軸承座(11)，所述電機(6)與固定架(1) 連接處設置下軸承座(12)。