[實用新型]一種等離子體輔助感應加熱法制備石墨烯的裝置

有效

• 申請號: 201620094752.3
• 申請日: 2016-02-01
• 公開（公告）號: CN205368492U
• 公開（公告）日: 2016-07-06
• 發明（設計）人: 渠洪波
• 申請（專利權）人: 沈陽科友真空技術有限公司
• 主分類號: C23C16/26
• 分類號: C23C16/26;C23C16/44
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種等離子體輔助感應加熱法制備石墨烯的裝置，其特征在于，包括機架、微波源、耦合腔、真空室、感應線圈和工件架，所述微波源位于所述機架的上方，所述耦合腔設置在所述微波源的左側，所述耦合腔的底端設置有所述真空室，所述真空室設置在所述機架上，所述真空室內設置有工件架，所述工件架的周圍纏繞有所述感應線圈。

2.如權利要求1所述的等離子體輔助感應加熱法制備石墨烯的裝置，其特征在于，還包括感應線圈電源和偏壓電源，所述感應線圈電源設置在所述真空室的下方，所述感應線圈與所述感應線圈電源連接，所述偏壓電源與所述工件架連接。

3.如權利要求2所述的等離子體輔助感應加熱法制備石墨烯的裝置，其特征在于，還包括抽氣裝置和抽氣管道，所述抽氣管道設置在所述真空室的下端，所述真空室通過所述抽氣管道與所述抽氣裝置連接。

4.如權利要求3所述的等離子體輔助感應加熱法制備石墨烯的裝置，其特征在于，還包括進氣口，所述進氣口設置在所述真空室的上端側面，所述真空室通過所述進氣口與外部的真空系統的機械泵連接。

5.如權利要求4所述的等離子體輔助感應加熱法制備石墨烯的裝置，其特征在于，所述感應線圈電源和所述抽氣裝置均設置在所述機架內，所述感應線圈電源位于所述抽氣裝置的左側。

6.如權利要求5所述的等離子體輔助感應加熱法制備石墨烯的裝置，其特征在于，所述微波源與所述機架之間通過長度可調節的伸縮桿固定連接。