[實用新型]一種氣體濃度檢測裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201620080251.X
• 申請日: 2016-01-27
• 公開（公告）號: CN205333561U
• 公開（公告）日: 2016-06-22
• 發(fā)明（設計）人: 不公告發(fā)明人
• 申請（專利權）人: 重慶三零三科技有限公司
• 主分類號: G01N27/12
• 分類號: G01N27/12
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種半導體器件，尤其涉及一種氣體濃度檢測裝置。

背景技術

半導體傳感器以其易于實現(xiàn)集成化，微型化、靈敏度高等諸多優(yōu)點，一直引起世界各國科學家的重視和興趣。由于電子技術的飛速發(fā)展，以半導體傳感器為代表的各種固態(tài)傳感器相繼問世。這類傳感器主要是以半導體為敏感材料，在各種物理量的作用下引起半導體材料內載流子濃度或分布的變化，通過檢測這些物理特性的變化，即可反映被測參數(shù)值。它與各種結構型傳感器相比，具有如下特點：由于傳感器原理是基于物理變化的，因而沒有相對運動部件，可以做到結構簡單，微型化；靈敏度高，動態(tài)性能好，輸出為電量；采用半導體為敏感材料容易實現(xiàn)傳感器集成化，智能化；功耗低，安全可靠。

目前以半導體為基礎材料的氣敏元件已相當成熟，但仍然存在結構復雜、穩(wěn)定性較差的問題。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是提供一種結構簡單、制造成本低廉、響應速度快、靈敏度高、穩(wěn)定性好的氣體濃度檢測裝置。

本實用新型解決上述技術問題的技術方案如下：一種氣體濃度檢測裝置，包括陶瓷絕緣基底，所述陶瓷絕緣基底上設置有測量電極一、測量電極二、測量電極三、測量電極四，所述測量電極一、測量電極二之間及測量電極三、測量電極四之間分別設置有金屬基片，所述金屬基片上設置有叉指燒結體，所述測量電極一、測量電極四之間及測量電極二、測量電極三之間分別設置有電極柵，所述電極柵上設置有電熱絲。

當電極柵上的電熱絲對叉指燒結體進行加熱，所述叉指燒結體產生多孔結構，用于對氣體的吸附和釋放，當叉指燒結體吸附或釋放氣體時，叉指燒結體質量和導電率會發(fā)生改變，根據(jù)氣體濃度的變化，叉指燒結體導電率發(fā)生相應變化，并產生感應電流，所述感應電流通過金屬基片及測量電極，收集及輸出，被外電路測定，從而實現(xiàn)氣體濃度的檢測。

在上述技術方案的基礎上，本實用新型還可以做如下改進。

進一步，所述叉指燒結體為多孔二氧化鈦材料，所述二氧化鈦材料為多孔半導體材料，加熱時容易產生表面積較大的多孔結構，有利于氣體的吸收或釋放。

進一步，所述測量電極一及測量電極二為梳狀金電極，所述梳狀金電極導電性強有利于電信號的收集與輸出。

進一步，所述測量電極三及測量電極四為圓環(huán)碳電極，所述圓環(huán)碳電極導電強、內耗低，降低了對檢測信號的干擾，同時碳電極環(huán)保無污染。

本實用新型的有益效果是：結構簡單、制造成本低廉、響應速度快、靈敏度高、穩(wěn)定性好。

附圖說明

圖1為本實用新型一種氣體濃度檢測裝置結構示意圖；

附圖中，各標號所代表的部件列表如下：1、陶瓷絕緣基底，2、測量電極一，3、測量電極二，4、測量電極三，5、測量電極四，6、金屬基片，7、電熱絲，8、叉指燒結體，9、電極柵。

具體實施方式

以下結合附圖對本實用新型的原理和特征進行描述，所舉實例只用于解釋本實用新型，并非用于限定本實用新型的范圍。

如圖1所示，一種氣體濃度檢測裝置，包括陶瓷絕緣基底1，所述陶瓷絕緣基底1上設置有測量電極一2、測量電極二3、測量電極三4、測量電極四5，所述測量電極一2、測量電極二3之間及測量電極三4、測量電極四5之間分別設置有金屬基片6，所述金屬基片6上設置有叉指燒結體8，所述測量電極一2、測量電極四5之間及測量電極二3、測量電極三4之間分別設置有電極柵9，所述電極柵9上設置有電熱絲7。

當電極柵9上的電熱絲7對叉指燒結體8進行加熱，所述叉指燒結體8產生多孔結構，用于對氣體的吸附和釋放，當叉指燒結體8吸附或釋放氣體時，叉指燒結體8質量和導電率會發(fā)生改變，根據(jù)氣體濃度的變化，叉指燒結體8導電率發(fā)生相應變化，并產生感應電流，所述感應電流通過金屬基片6及測量電極，收集及輸出，被外電路測定，從而實現(xiàn)氣體濃度的檢測。

所述叉指燒結體8為多孔二氧化鈦材料，所述二氧化鈦材料為多孔半導體材料，加熱時容易產生表面積較大的多孔結構，有利于氣體的吸收或釋放。所述測量電極一2及測量電極二3為梳狀金電極，所述梳狀金電極導電性強有利于電信號的收集與輸出。所述測量電極三4及測量電極四5為圓環(huán)碳電極，所述圓環(huán)碳電極導電強、內耗低，降低了對檢測信號的干擾，同時碳電極環(huán)保無污染。

以上所述僅為本實用新型的較佳實施例，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。