[實用新型]一種高純氣體充裝系統

有效

• 申請號: 201620071772.9
• 申請日: 2016-01-22
• 公開（公告）號: CN205331790U
• 公開（公告）日: 2016-06-22
• 發明（設計）人: 錢亮;錢國強
• 申請（專利權）人: 池州森大輕工制品有限公司
• 主分類號: F17C5/06
• 分類號: F17C5/06;F17C13/02
• 代理公司: 上海市華誠律師事務所 31210
• 代理人: 章登亞

1.一種高純氣體充裝系統，其特征是：所述高純氣體充裝系統包括儲罐（1）、充裝泵（2）、充氣管路（3）、純化器（4）、充裝排（5）、氣瓶（6）、真空泵（7）、分析儀（8）、氣體回流管路（9）；

充氣泵（2）連接儲罐（1），充氣管路（3）一端連接充氣泵（2）、另一端連接充裝排（5）；純化器（4）并聯于充氣管路（3）上，充氣管路（3）被并聯段設置閥門；氣瓶（6）固定在充裝排上，同時設置氣體回流管路（9）連接氣瓶；真空泵（6）連接在充裝排上；設置分析儀（8），采樣點分別設置在充氣管路（3）和充裝排（5）與真空泵（7）連接管路上。

2.如權利要求1所述的一種高純氣體充裝系統，其特征是：所述的純化器（4）包含水純化器和氧純化器。

3.如權利要求1所述的一種高純氣體充裝系統，其特征是：所述的分析儀（7）內部包含水分析儀和氧分析儀。