[實用新型]一種太陽能電池片工藝用的反應腔的腔體結構

有效

• 申請號: 201620070162.7
• 申請日: 2016-01-21
• 公開（公告）號: CN205355018U
• 公開（公告）日: 2016-06-29
• 發明（設計）人: 張俞
• 申請（專利權）人: 張俞
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L31/18
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種太陽能電池片工藝用的反應腔的腔體結構，包括腔體(3)；其特征是；

所述腔體(3)由不銹鋼板材(31)、氧化鋁鍍層(32)、鋁板(33)和陶瓷片(34)組成；不銹鋼板材(31)表面噴涂有氧化鋁鍍層(32)，所述氧化鋁鍍層(32)表面覆蓋可拆卸鋁板(33)和陶瓷片(34)，所述鋁板(33)和陶瓷片(34)通過鋁合金緊固件(331)固定在氧化鋁鍍層(32)上；

所述腔體(3)的上端開設有工藝化學氣體入口(1)和電性連接有RF射頻電源(4)，在腔體(3)的上方內壁上固定有等離子噴射器(2)，所述等離子噴射器(2)的下方設置有導電載板(8)，在所述導電載板(8)與等離子噴射器(2)之間設置有等離子體(6)，導電載板(8)的上表面設置有刻蝕片(9)，導電載板(8)的底面電性連接有RF射頻直流電源(5)，所述RF射頻直流電源(5)的另一端接地；在所述腔體(3)的底面的左端連接有真空泵(7)。

2.根據權利要求1所述的一種太陽能電池片工藝用的反應腔的腔體結構，其特征是：所述鋁板(33)和陶瓷片(34)內部嵌入鋁合金板。

3.根據權利要求1所述的一種太陽能電池片工藝用的反應腔的腔體結構，其特征是：所述RF射頻電源(4)的另一端接有電容，通過電容接地。

4.根據權利要求1所述的一種太陽能電池片工藝用的反應腔的腔體結構，其特征是：所述腔體(3)的底面連接有接地線。

5.根據權利要求1所述的一種太陽能電池片工藝用的反應腔的腔體結構，其特征是：所述不銹鋼板材(31)為奧氏體不銹鋼材料制成。